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光博会现场直击!西光电落地稀缺技术:纳米压印微透镜阵列拼版全链路贯通!

“单片晶圆排布 15 万颗微透镜、拼版定位误差 1μm。”正在深圳召开的第27届中国国际光电博览会(CIOE)现场,西湖大学光电研究院(西光电)展位前人头攒动。作为展团“核心重头戏”的西光电微纳加工平台,日前已成功落地国内稀缺的纳米压印微透镜阵列拼版工艺。现场...

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光博会现场直击!西光电落地稀缺技术:纳米压印微透镜阵列拼版全链路贯通!
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“单片晶圆排布 15 万颗微透镜、拼版定位误差 1μm。”正在深圳召开的第27届中国国际光电博览会(CIOE)现场,西湖大学光电研究院(西光电)展位前人头攒动。...

Micro nano processing platform 微纳加工平台
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