研究方向 Research Direction

专注于光电集成芯片制造相关装备的研发、生产工艺优化以及技术创新,具体包括研制新型光刻、先进封装、晶圆测试等仪器装备,围绕上述仪器装备开发先进光电芯片制造工艺。

领衔专家 Leading expert
仇旻

西湖大学国强讲席教授、副校长、西湖大学工学院院长、西湖大学光电研究院院长

仇旻,西湖大学国强讲席教授、副校长、西湖大学工学院院长、西湖大学光电研究院院长。国家杰出青年基金获得者、Optica Fellow、SPIE Fellow、IEEE Fellow、COS Fellow、 CSOE Fellow、CIE Fellow、中国光学工程学会常务理事、浙江省光学学会副理事长等。2022年7月荣获2021 年度浙江省自然科学奖一等奖。主要研究方向为微纳光电子学,包括微纳加工技术及仪器装备、微纳光子理论及光电器件等。

柳佃义

柳佃义,博士毕业于兰州大学,曾在加拿大和美国从事博士后研究(2013-2018)。2019年起,任西湖大学特聘研究员(独立PI),获浙江省海外高层次人才引进计划和杭州市海外高层次创新创业团队项目支持。在Nature Photonics、JACS、Joule、Sci. Adv. 等期刊发表一作论文30余篇。开发了直接面向产业化的钙钛矿电池制备工艺,极大地促进了钙钛矿光伏的产业化发展;在柔性可编织光伏纤维和透明有机太阳能电池方面,研究处于世界领先地位。

文燎勇

文燎勇,2011年-2016年先后就读于德国明斯特大学和伊尔姆瑙工业大学应用物理专业,获博士学位;2019年作为特聘研究员加入西湖大学工学院。近年来以铝基3D光刻技术为主要手段,设计并定制化制备3D功能结构/材料,探索其在光电芯片、柔性穿戴、生物传感中的构效关系及多功能/高性能器件集成研究。以通讯/第一作者身份在Nature Materials, Nature Nanotechnology等期刊发表论文50余篇;西湖微纳科技公司联合创始人。

杜凯凯

慕德微纳(杭州)科技有限公司CEO

杜凯凯博士,慕德微纳(杭州)科技有限公司CEO,长期致力于微纳光学器件的设计与加工技术。博士毕业于浙江大学光学科学与工程学院,在超材料、热辐射调制及微纳加工方面发表学术期刊论文十余篇。博士毕业后加入歌尔股份有限公司,从事AR衍射光波导相关的设计研发与工艺开发工作,曾获得鸢都产业领军人才等项目支持。2022年4月,在西湖大学从事博士后研究工作期间,合伙创立慕德微纳(杭州)科技有限公司,以AR衍射光波导的纳米压印模板作为核心切入点,布局微纳光学元器件的设计与加工,是国内唯一提供高端纳米压印模板产品的厂家,有力地推动了国内AR衍射光波导行业的迭代发展。

郑小睿

西湖大学工学院电子信息工程系助理教授, 博导, 独立PI, 先进制造与纳米芯片实验室(Alien Lab)负责人

郑小睿,西湖大学工学院电子信息工程系助理教授,博导,独立PI,先进制造与纳米芯片实验室(AlienLab)负责人。加入西湖大学以来,先后主持及参与多项研究基金,包括国家自然科学基金青年科学基金、国家重大科研仪器研制项目、国家重点研发计划、未来产业研究中心专项等。团队专注于扫描探针技术的基础及应用研究,挖掘其在微纳制造、原位表征、物性调控等领域的潜力,以新型材料为基础,在阻变、逻辑运算、光学超构表面等领域开展研究,探索其光/电特性及功能器件在神经形态计算中的独特应用。郑小睿博士以主要作者身份(第一或通讯)已在Nature、Nature Electronics、Nature Communications、Device、Advanced Materials、Advanced Science、Laser & PhotonicsReviews等期刊发表论文。

李西军

西湖大学光电研究院副院长、研究员,浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任,西湖大学先进微纳加工与测试平台主任

西湖大学光电研究院副院长、研究员,浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任,西湖大学先进微纳加工与测试平台主任。2000年毕业于中国工程物理研究院,获理学博士学位;有20年微纳加工工艺开发和10年平台运维经验;曾获得国家基金委重大项目、国家基金委重点项目和科技部重大研发计划等子课题资助,发表学术论文40余篇,获授权专利20多项。


仇旻

西湖大学国强讲席教授、副校长、西湖大学工学院院长、西湖大学光电研究院院长

柳佃义

文燎勇

杜凯凯

慕德微纳(杭州)科技有限公司CEO

郑小睿

西湖大学工学院电子信息工程系助理教授, 博导, 独立PI, 先进制造与纳米芯片实验室(Alien Lab)负责人

李西军

西湖大学光电研究院副院长、研究员,浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任,西湖大学先进微纳加工与测试平台主任

创新成果 Innovation Achievements
  • 金刚石加工工艺及装备

  • 大面积柔性透明有机光伏组件

  • AR衍射光波导芯片

  • 高精度无掩模光刻技术及工艺