项目团队聚焦国家急需解决的先进节点工艺半导体芯片制造与检测领域关键驱动光源技术及装备， 以实现国产光场调控高能激光设备替代进口。目前项目团队已经开发两大主要系统：太瓦量级峰值功率近红外脉冲激光器与高维时空光场调控系统。项目团队已经设计并研发大能量、高重频的掺镱固体激光系统，在此基础上，项目团队利用中空波导、多通腔、时空光场合成器等对于高能超快激光的脉宽、波长、空间模式、光子轨道角动量、光子自旋角动量等进行协同调控。同时，两套系统衍生出来的模块，例如光学振荡器、放大器、中空波导、时空光场合成器等，对于医疗美容、工业加工、微纳加工、生物检测等领域有重要作用。

本项目将建设一支20人左右的全职研究团队，其中博士学位以上人员10人以上，省级及以上高层次人才2-3人，做出国际领先、国内首创的加工和检测设备，开拓技术合作新范式，打造产业化智能设备新体系。项目聚焦半导体高端检测技术与检测设备开发，包括高能超快激光驱动设备，可调谐高维孤子产生与调控设备，深紫外-真空紫外-极紫外光源系统，相干衍射成像检测系统，高速大视场全息光电芯片制造原位监测系统，高深度高分辨三维层析光电芯片制造原位监测系统，扫描探针-激光综合装备系统等，开发样机10台以上，开发软件3-5个，申请发明专利15项，授权发明专利6件，发表高水平论文10-15篇，孵化高科技公司1-2家，实现芯片检测设备应用，形成示范工程、示范点1个。

高维光场调控高能激光项目由国家特聘教授詹其文教授所领衔，专注于国家急需半导体芯片制造与检测领域的核心光源技术及装备。该项目以国产高维光场调控高能激光设备为首代产品，实现光场从时域、频率、空间域、能量域、自旋与轨道角动量等方面进行联合调控，满足不同行业需求。